경기도 산학협력 지원으로 성균관대 연구팀이 열화상 카메라의 필수 구성품인 열감지 센서 개발에 성공해 본격적인 제품 양산체제를 구축했다.

24일 경기도에 따르면 도 지역협력연구센터(GRRC)에서 연구를 수행하고 있는 서수정 성균관대 신소재공학부 교수팀은 센터가 보유하고 있는 첨단 반도체 공정 장비를 활용, 균일한 곡면 실리콘 구조물을 구현할 수 있는 공정 기술을 참여기업에 지원한 결과 적외선 필터(IR Filter)와 적외선 렌즈(IR Lens)의 대량 양산체제 기반을 마련할 수 있게 됐다. 

열감지 센서 어플리케이션의 소형화에 따라 여기에 사용되는 IR filter·IR Lens의 소형화는 필수적이다. 마이크로 크기의 렌즈를 기존 연마방식으로 제작할 경우 상당한 제작비용과 시간이 필요하지만, 반도체 공정 초소형 미세가공기술(MEMS)을 이용하면 짧은 시간에 대량의 렌즈 제작이 가능하고 생산비용 또한 절감할 수 있다. 

이러한 반도체 공정을 활용한 소형 IR filter·IR Lens를 개발하기 위해서는 적외선 필터를 구현하기 위한 반사방지용 코팅(Anti Reflection) 기술과 실리콘(Si) 기반의 곡면 초소형 MEMS 공정 기술이 중요하다. 

㈜서울정광은 국내에서 유일하게 적외선 Anti Reflection 공정 기술로 적외선 필터 부품을 생산하고 있었는데 제품 소형화에 어려움을 겪던 중 반도체 공정개발 기술과 적외선 필터 도금 공정 기술을 이전받아 제품 양산에 성공할 수 있었다. 양산에 성공한 IR filter·IR Lens는 기존 제품 대비 소형제품에 적용할 수 있어 휴대폰, 열센서, 3D 스캐닝 모듈 등의 기기에까지 활용될 수 있다.

안치권 도 과학기술과장은 "대학이 보유한 물적·인적 자원을 활용해 본격적인 제품양산 기반을 마련한 것은 매우 의미있는 일"이라며 "관련 업체의 기술경쟁력 향상을 위해 적극 지원하겠다"고 말했다.

수원=박진영 기자 bigman@kukinews.com