이재용 삼성전자 회장이 첨단 반도체 장비 협력 확대를 위해 독일을 방문했다. 인공지능(AI) 반도체 시장 선점 및 미래 먹기리 확보를 위한 행보를 이어가고 있다.

29일 삼성전자에 따르면 이 회장은 26일(현지시간) 독일 오버코헨에 위치한 자이스(ZEISS) 본사를 방문했다. 칼 람프레히트 자이스 CEO 등 경영진과 양사 협력 방안을 논의했다. 반도체 핵심 기술 트렌드 및 중장기 기술 로드맵 등에 대해 이야기했다.

삼성전자의 반도체 기술을 총괄하는 경영진도 동행했다. 송재혁 삼성전자 DS부문 CTO, 남석우 삼성전자 DS부문 제조&기술담당 사장 등이다.

글로벌 광학 기업 자이스는 반도체 장비 업계의 ‘슈퍼을’로 불린다. 첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV 기술 관련 핵심 특허를 2000개 보유하고 있다. ASML의 EUV 장비에 탑재되는 광학 시스템을 독점 공급하고 있다. EUV 장비 1대에 들어가는 자이스 부품은 3만개 이상이다.

이번 만남을 통해 삼성전자와 자이스는 EUV 기술 및 첨단 반도체 장비 관련 분야에서 협력을 확대하기로 했다. 향후 삼성전자는 EUV 기술력을 바탕으로 파운드리 시장에서 3나노 이하 초미세공정 시장을 주도하고, 연내에 EUV 공정을 적용해 6세대 10나노급 D램을 양산할 계획이다. 자이스와의 협력을 통해 성능 개선과 생산 공정 최적화, 수율 향상 등을 달성할 수 있을 것으로 기대된다.

양사의 물리적 거리감도 줄어든다. 자이스는 오는 2026년까지 480억원을 투자해 한국에 R&D 센터를 구축한다.

이 회장은 AI 반도체 시장 선점을 위해 총력을 기울이고 있다. 지난 2월에는 한국을 방문한 마크 저커버그 메타 CEO를 만났다. 지난해에는 피터 베닝크 ASML CEO, 젠슨 황 엔비디아 CEO 등과 만나 미래 협력에 대해 논의했다.

이소연 기자 soyeon@kukinews.com