[쿠키 사회] 울산과학기술대는 하이테크 장비 공급전문업체인 엘런 테크놀러지와 산학협력을 통한 ‘윈-윈 체계’를 구축했다고 10일 밝혔다.

울산과기대는 이날 대학본부에서 엘런 테크놀로지와 ‘전자빔 리소그래피 장비 도입 및 공정 서비스 제공’을 위한 시험용역 계약을 맺었다.

전자빔 리소그래피는 포토마스크를 통해 빛으로 감광재료에 노광하는 광(光)리소그래피와 달리 음극에서 방출되는 전자빔을 수십kV로 가속하면서 별도의 마스크를 사용하지 않고도 나노미터 크기의 패턴을 제작할 수 있는 장치다. 특히 이 기술은 나노기술을 응용한 핵심기술이기도 하다.

울산과기대가 도입하는 전자빔 리소그래피는 수 나노미터 크기의 패턴 제작이 가능한 최고 수준의 장비로 반도체, NEMS(나노영역의 초소형 정밀기계 분야), 그린에너지, 생명공학에 이르기까지 다양한 분야에 지원 가능하다.

이번 협정을 통해 울산과기대는 엘런 테크놀로지로부터 전자빔 리소그래피 장비를 활용한 디바이스 제작 공정 서비스와 장비 교육을 무상 지원받고, 엘런 테크놀로지는 나노, MEMS 디바이스를 제작 후 지역 내 대학 및 산업체에 제공하기로 했다.

울산과기대 신현석 중앙기기센터장은 “울산과기대는 엘런 테크놀로지와 산학협력을 계기로 더욱 많은 산업체들과 활발한 기술 및 인력 교류를 통한 세계적인 이공계특성화대학의 발판을 마련할 방침”이라고 말했다.

엘런 테크놀로지는 하이테크 장비의 국내 세일즈 및 제조, 나노 관련 공정서비스를 주력으로 하는 회사로 연간 목표매출액은 100억원이다.울산=국민일보 쿠키뉴스 조원일 기자
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