한국전기연구원(KERI)이 '탄화규소(SiC, silicon carbide) 전력반도체 이온 주입 평가기술'을 헝가리 업체에 기술이전하는데 성공했다.
11일 KERI에 따르면 전력반도체의 소재는 여러 가지가 있는데 그중에서도 SiC가 높은 내구성과 전력 효율을 보이는 등 재료 특성이 뛰어나 가장 주목받고 있다. SiC 전력반도체가 전기차에 탑재될 경우 배터리의 전력 소모를 덜고 차체의 무게와 부피를 줄여 최대 10%의 에너지 효율 개선을 기대할 수 있을 정도다.
SiC 소재는 딱딱해 아주 높은 에너지로 이온을 주입한 뒤 고온에서 열처리해 활성화해야 하는 등 실제 이온 주입 구현이 어려운 기술이었다. 하지만 KERI가 10여년에 걸쳐 쌓아온 SiC 전용 이온 주입 장치의 운용 경험을 통해 관련 기술들을 확보하는데 성공했다.
이번 성과는 헝가리 부다페스트 소재의 반도체 측정 장비 전문업체인 '세미랩 (Semilab)'에 최근 기술이전 됐다. 30년 업력의 세미랩은 헝가리와 미국에 제조 공장을 가지고 있고 중견 정밀계측 장비 및 소재특성 평가 장비 특허를 소유한 기업으로 반도체 특성 평가 장비기술로는 세계 최고의 기술력을 보유하고 있다.
양측은 이번 기술이전을 통해 고품질의 SiC를 규격화할 수 있을 것으로 보고 있다. 세미랩은 KERI 기술을 활용해 SiC 전력반도체의 이온 주입 공정을 평가할 수 있는 전문 장비를 개발한다는 계획이다.
KERI 김형우 차세대반도체연구센터장은 "이온 주입 기술은 반도체 소자의 전류 흐름을 높이고 고가의 에피 웨이퍼를 대체해 공정 비용도 크게 줄일 수 있다"며 "고성능 SiC 전력반도체의 가격 경쟁력을 높이고 양산화에 기여하는 큰 기술"이라고 전했다.
