삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본의 고순도 불화수소(에칭가스) 일부를 국산품 등으로 대체한 것으로 3일 확인됐다.
삼성전자 관계자는 이날 “반도체 생산 공정의 일부분에 일본산 이외의 제품을 투입했다”고 밝혔다.
업계에 따르면 생산에 투입된 불화수소에는 국내 업체가 생산한 제품도 포함된 것으로 알려졌다. 이는 일본이 지난 7월 한국에 대해 불화수소를 포함한 3개 품목의 수출을 규제한 이후 약 두 달 만이다.
삼성전자는 민감도가 낮은 공정에 국산 저순도 불화수소부터 사용한 뒤 이를 종합적으로 판단해 확대 적용을 검토할 것으로 전해졌다.
앞서 삼성전자는 수출규제 직후부터 일본 불화수소를 대체할 수 있도록 국내외 제품의 테스트를 진행해왔다. 업계는 제품을 불화수소 등 품목이 반도체 양산에 투입하기까지 최소 3개월에서 6개월가량의 시간이 소요될 것으로 전망했지만 예상보다 이른 기간에 투입된 셈이다.
한편 불화수소는 반도체 제조공정 중에 에칭공정(회로의 패턴 중 불필요한 부분을 제거하는 공정)과 불순물 제거 공정에 사용되는 기체다. 대부분 일본에서 생산되는 독성이 있는 부식성 기체다. 국내에서는 환경규제로 생산이 쉽지 않아 수입에 의존하고 있다.
임중권 기자 im9181@kukinews.com
