울산과학기술대학교-엘란 테크놀로지, 산학협력 체결
울산과학기술대는 하이테크 장비 공급전문업체인 엘런 테크놀러지와 산학협력을 통한 ‘윈-윈 체계’를 구축했다고 10일 밝혔다. 울산과기대는 이날 대학본부에서 엘런 테크놀로지와 ‘전자빔 리소그래피 장비 도입 및 공정 서비스 제공’을 위한 시험용역 계약을 맺었다. 전자빔 리소그래피는 포토마스크를 통해 빛으로 감광재료에 노광하는 광(光)리소그래피와 달리 음극에서 방출되는 전자빔을 수십kV로 가속하면서 별도의 마스크를 사용하지 않고도 나노미터 크기의 패턴을 제작할 수 있는 장치다. 특히 이 기술은 나노기... []